90%国产成分的EUV光源原型首次亮相工博会

一台国产EUV光源原型在中国国际工业博览会上公开展示，国产化率高达90%。根据报道，此设备由Landau Suiyan推出，被认为是国内最先进的EUV光源原型。这一高比例表明，原型机的大多数核心部件均由本土团队自主研发，而非依赖进口组件。对于被制约于光源技术的国内芯片产业链而言，这一进展尤为重要。

更为值得注意的是，这台原型机采用的技术架构与全球领先厂商相同，并具备了进行芯片曝光测试的能力。架构的一致性意味着后续的工艺验证、设备对接和生产线衔接将有现成的标准可依，不需重新构建新的生态系统。这对一台仍处于原型阶段的设备来说，更具实际意义。

EUV光源是生产7纳米及以下芯片的三大关键组成部分之一。长期以来，该领域被外资企业垄断，并受到出口限制，成为中国芯片自主化进程中的主要障碍。换句话说，光源技术的掌控是进入下一代制造工艺的关键。 千亿体育

此次工博会的亮相，至少证明了一点：在这一领域，中国团队已经成功研发出原型设备，并展示了一个可量化的国产化水平。不过，距离实际大规模生产的时间表尚未明确。